Jak snížit kontaminaci olejem ve vysoko{0}}vakuových difúzních čerpadlech

1. Funkce návrhu a hardwarová řešení (nejdůležitější)

Nainstalujte odlučovač oleje-typu přepážky nebo deštníku
Přepážka ve stylu labyrintu- mezi výstupem difuzní pumpy a vakuovou komorou pomáhá blokovat průchod olejových par přímo do komory.

Použijte vymrazovač (nejefektivnější řešení)
Chladič umístěný nad čerpadlem kondenzuje olejové páry před tím, než se dostane do komory. Chlazení může být zajištěno kapalným dusíkem, chlazenou vodou nebo chladicím systémem. Jedná se o jeden z nejúčinnějších způsobů, jak zabránit zpětnému toku.

Vyberte kapaliny pro nízkotlaké-parní{1}} pumpy
Používejte vysoce{0}}kvalitní oleje na bázi silikonu-, jako je kapalina pro difuzní pumpu Dow Corning DC-704 nebo kapalina pro difuzní pumpu Dow Corning DC-705. Kapaliny s nižším tlakem par výrazně snižují riziko kontaminace.

2. Správné provozní postupy (často přehlížené)

Dodržujte správnou sekvenci spouštění{0}}a vypínání
Před úplným čerpáním vždy nechte difuzní čerpadlo dosáhnout provozní teploty. Při vypínání nejprve vypněte ohřívač a před zastavením předního čerpadla nechte čerpadlo vychladnout. Náhlá ztráta čerpání přední řady, když je čerpadlo horké, může způsobit silné zpětné proudění oleje.

Nikdy neodvzdušňujte čerpadlo, když je horké
Vstup vzduchu do horkého difúzního čerpadla může rychle oxidovat a degradovat olej čerpadla, produkovat nečistoty a zvyšovat riziko přenosu oleje.

Udržujte stabilní a dostatečné chlazení
Správný průtok chladicí vody je nezbytný. Špatné chlazení snižuje účinnost kondenzace par a zvyšuje pravděpodobnost migrace olejových par proti proudu.

3. Údržba a běžná péče

Pravidelně vyměňujte olej v čerpadle
Nečekejte, až olej ztmavne nebo zhoustne. Stárnoucí olej má vyšší tlak par a je náchylnější ke kontaminaci a zpětnému toku.

Udržujte vnitřek čerpadla čistý
Pravidelně čistěte tělo čerpadla, sestavu trysky a přepážky. Zbytky oleje a usazeniny mohou být znovu staženy v proudu páry.

Udržujte dobrý podtlak v přední linii
Pokud je tlak předního čerpadla příliš vysoký, proud páry se stává nestabilním, což zvyšuje zpětný proud oleje.

4. Pokročilá opatření pro ultra{1}}čisté aplikace

Nainstalujte vysoce-podtlakový izolační ventil
Ventil mezi komorou a difuzním čerpadlem umožňuje úplné izolování systému, když se čerpadlo nepoužívá, a zabraňuje tak migraci olejových par.

Tam, kde je čistota klíčová, používejte bezolejová-čerpadla
Pro aplikace, jako je zpracování polovodičů nebo přesná optika, mnoho systémů nahrazuje difúzní vývěvy turbomolekulárními vývěvami, jako jsou ta, která vyrábí Pfeiffer Vacuum nebo Edwards Vacuum, aby se zcela eliminovala kontaminace olejem.